Сведения о диссертации
| Соискатель: | СОЧУГОВ Николай Семенович |
| Тип диссертации: | докторская |
| Отрасль науки: | технические науки |
| Тема диссертации: | ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ПРОЦЕССЫ НАНЕСЕНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ НА ПОДЛОЖКИ БОЛЬШОЙ ПЛОЩАДИ |
| Шифр научной специальности: | 05.27.02 - Вакуумная и плазменная электроника |
| Дата размещения объявления: | 02.10.2013 |
| Дата защиты: | 26.12.2013 |
| Автореферат: | - (дата размещения 02.10.2013) |
| Место проведения защиты: | Институт сильноточной электроники СО РАН
634055, г. Томск-55, пр. Академический, 2/3. ИСЭ СО РАН |
| Телефон: | (382-2) 492-586 |
| E-mail: | pegel@lfe.hcei.tsc.ru |
