Ю.Ф. Иванов, Ю.Х. Ахмадеев, Н.Н. Коваль, В.В. Шугуров, Е.А. Петрикова, О.В. Крысина, Н.А. Прокопенко, О.С. Толкачев
Сформированы многоэлементные наноструктурированные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава (NbMoCrTiAl)N из многокомпонентной газо-металлической плазмы, созданной одновременным независимым вакуумно-дуговым испарением катодов выбранных элементов в режиме с плазменным ассистированием в среде азота. Установлено, что сформированные покрытия являются однофазными материалами, имеющими гранецентрированную кубическую кристаллическую решетку с параметром a = 0,40540 нм. Полученные нитридные покрытия имеют нанокристаллическую многослойную структуру. Твердость покрытий в первую очередь зависит от концентрации химических элементов в покрытии и давления азота и достигает 43 ГПа. Покрытия перспективны для использования в промышленности.
а)
б)
Рис. 1. Азимутальное распределение плотности ионного тока в атмосфере смеси газов Ar/N2 = 1/1 (а); структура покрытия (б), полученная при напылении покрытия нитрида ВЭС состава (NbMoCrTiAl)N
Публикации
- Ю.Ф. Иванов, Ю.Х. Ахмадеев, Н.Н. Коваль, В.В. Шугуров, Е.А. Петрикова, О.В. Крысина, Н.А. Прокопенко, О.С. Толкачев. Многоэлементные нитридные покрытия квазиэквиатомного состава, сформированные ионно-плазменным методом // Известия ВУЗов. Физика. 2022. Т.65. №11. С. 59-64. https://doi.org/10.17223/00213411/65/11/59
Результат получен при финансовой поддержке Министерства науки и высшего образования Российской Федерации, проект № 075-15-2021-1348 «In situ методы синхротронных исследований многослойных функциональных структур с уникальными параметрами и свойствами, созданных пучково-плазменной инженерией поверхности», в рамках мероприятий № 2.1.5, 2.1.17 и 2.1.20.
Результат получен сотрудниками ЛПЭЭ
