На основе несамостоятельного тлеющего разряда низкого давления с полым катодом создан генератор объёмных пучково-плазменных образований, позволяющий в непрерывном и импульсном режимах горения разряда в полом катоде объемом 0,3 м3 в диапазоне давлений (0,1 – 1,0) Па при токах разряда (20 – 400) А и напряжениях горения от 50 В до 250 В при средней мощности в разряде до 25 кВт создавать плазму с концентрацией ≈5·1017 м-3 с неоднородностью не хуже ± 30% от среднего значения и обеспечивать среднюю плотность ионного тока на полый катод площадью ≈2 м2 до 10 мА/см2. Созданный генератор предназначен для очистки, активации и азотирования поверхности изделий из конструкционных и инструментальных сталей массой до 150 кг.
Контактная информация
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией пучково-плазменной инженерии поверхности
ДЕНИСОВ Владимир Викторович
кандидат технических наук
denisov@opee.hcei.tsc.ru
