Назначение
Магнетронное осаждение износостойких нитридных покрытий методом дуального сильноточного магнетронного распыления.
Параметры покрытий
| Состав | TiN, TiAlN, CrAlN, многослойные металл/нитрид покрытия |
| Твердость | 20÷30 ГПа |
| Скорость износа | 10-6÷10-7 мм3·Н-1·м-1 |
Контактная информация
Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3
Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651
