Установка для нанесения легированных кремнием и кислородом DLC покрытий (DLC:SiOx)


Назначение

Нанесение DLC:SiOx покрытий плазмохимическим методом для применений в медицине (биоинертные, атромбогенные покрытия для кардиохирургии) и машиностроении (для защиты металлов от износа и коррозии). Для некоторых изделий возможно предварительное азотирование поверхности.

Материал изделий под покрытие: кремний, стекло, титан и его сплавы, нержавеющая сталь, быстрорежущая сталь, ВК-8.

Свойства покрытий

Толщина 1÷3 мкм
Твердость 13÷20 ГПа
Индекс пластичности (H/E) 0,1÷0,11
Скорость износа 10-7÷10-8 мм3·Н-1·м-1
Коэффициент трения 0,05÷0,15
Температурная стабильность на воздухе до 450÷500°С
Структура аморфная
Скорость коррозии, мм/год 10-5÷10-6

Контактная информация

Институт сильноточной электроники СО РАН, (ИСЭ СО РАН)
634055, г. Томск, пр. Академический 2/3

Заведующий лабораторией прикладной электроники
СОЛОВЬЁВ Андрей Александрович
andrewsol@mail.ru
+8 3822 491651